半导体材料实际上是由稳定的硅化合物晶体组成的。半导体材料广泛应用于通信技术领域。近年来,小编辑已经注意到半导体材料已经扩展到工业超声波清洁产品。下面将介绍半导体超声波清洗机的清洗方法和温度。
半导体超声波清洗机
半导体超声波清洗机-半导体产业是现代电子产业的核心
半导体产业是现代电子产业的核心,半导体产业的基础是硅材料产业。尽管各种新的半导体材料不断涌现,但超过90%的半导体器件和电路,尤其是ULSI,是在高纯度和高质量的硅单晶抛光晶片和外延晶片上制造的。
硅片清洗对半导体工业的重要性自20世纪50年代初就引起了极大的关注,因为硅片表面的污染物会严重影响器件的性能、可靠性和成品率。随着微电子技术的快速发展和人们对原材料要求的提高,污染物对器件的影响日益突出。
多通道电子倍增器是在1970年代单通道电子倍增器的基础上发展起来的。微通道板因其结构简单、增益高、时间响应快和空间成像等优点而得到广泛应用。它主要应用于各种类型的图像增强器、夜视装置、量子位置探测器、射线放大器、场离子显微镜、超高速宽带示波器、光电倍增器等。微通道板是多阵列电子倍增器,是微光像增强器的核心部件。微通道板的制造过程漫长而复杂。表观缺陷是制约微通道板成品率的关键因素之一。
在制造微通道板的过程中,不可避免地会受到灰尘、金属、有机物和无机物的污染。这些污染物很容易造成表面缺陷和孔中的污垢,产生发射点、黑点、黑斑等。导致MCP产量下降,使管材质量不稳定甚至失效。因此,在微通道板的制造过程中,采用超声波清洗技术去除污染物是非常重要的。
半导体超声波清洗机—清洗方式
普通清洗方法一般无法到达孔内,孔内芯材的反应产物和其他污染物会在后续过程中造成重复污染。无论使用有机溶剂还是清洗液,都很容易引入新的污染源。然而,使用超声波清洗技术可以达到无重复污染和渗透到微通道板孔的效果。对于不同材料和孔径的微通道板,应采用频率和声强可调的超声波进行实验,以确定实际的工艺参数。
对于孔径为6 ~ 12μ m的微通道板的清洗,当介质为水和乙醇时,可采用空化阈值约为1/3 W/cm2、声强为10~20 W/cm2、频率为20~120千赫的超声波进行清洗。表1显示了在不同频率的超声波清洗之后,在同一部分中具有不同板数的MCP的表观和电性能的测试结果。从试验结果可以看出,对于1μm以下的小颗粒污染物,应选择频率在40千赫以上的超声波进行清洗。
半导体超声波清洗机—清洗温度
在硅片清洗过程中,清洗液的温度是一个关键因素。适当的清洗温度可以加速油污的去除,获得最佳的清洗效果。当硅片浸入清洗液中时,硅片上的油污膨胀,油污内部以及油污与硅片之间的作用力减弱。温度越高,油污膨胀越大,作用力越弱,表面活性剂分子越容易将油污从硅片表面撬开。同时,温度的变化会导致胶束性质和胶束中溶解物质溶解度的变化。聚氧乙烯表面活性剂的聚氧乙烯链(CH2CH2O)n在水中产生水合作用,并与水分子中的氢形成氢键。
温度升高,氢键减弱,有的甚至断裂,水合作用减弱,胶束容易形成,胶束的聚集数也明显增加,油脂等污染物的增溶量增加,有利于硅片的清洗。当.的时候
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半导体超声波清洗机
半导体超声波清洗机-半导体产业是现代电子产业的核心
半导体产业是现代电子产业的核心,半导体产业的基础是硅材料产业。尽管各种新的半导体材料不断涌现,但超过90%的半导体器件和电路,尤其是ULSI,是在高纯度和高质量的硅单晶抛光晶片和外延晶片上制造的。
硅片清洗对半导体工业的重要性自20世纪50年代初就引起了极大的关注,因为硅片表面的污染物会严重影响器件的性能、可靠性和成品率。随着微电子技术的快速发展和人们对原材料要求的提高,污染物对器件的影响日益突出。
多通道电子倍增器是在1970年代单通道电子倍增器的基础上发展起来的。微通道板因其结构简单、增益高、时间响应快和空间成像等优点而得到广泛应用。它主要应用于各种类型的图像增强器、夜视装置、量子位置探测器、射线放大器、场离子显微镜、超高速宽带示波器、光电倍增器等。微通道板是多阵列电子倍增器,是微光像增强器的核心部件。微通道板的制造过程漫长而复杂。表观缺陷是制约微通道板成品率的关键因素之一。
在制造微通道板的过程中,不可避免地会受到灰尘、金属、有机物和无机物的污染。这些污染物很容易造成表面缺陷和孔中的污垢,产生发射点、黑点、黑斑等。导致MCP产量下降,使管材质量不稳定甚至失效。因此,在微通道板的制造过程中,采用超声波清洗技术去除污染物是非常重要的。
半导体超声波清洗机—清洗方式
普通清洗方法一般无法到达孔内,孔内芯材的反应产物和其他污染物会在后续过程中造成重复污染。无论使用有机溶剂还是清洗液,都很容易引入新的污染源。然而,使用超声波清洗技术可以达到无重复污染和渗透到微通道板孔的效果。对于不同材料和孔径的微通道板,应采用频率和声强可调的超声波进行实验,以确定实际的工艺参数。
对于孔径为6 ~ 12μ m的微通道板的清洗,当介质为水和乙醇时,可采用空化阈值约为1/3 W/cm2、声强为10~20 W/cm2、频率为20~120千赫的超声波进行清洗。表1显示了在不同频率的超声波清洗之后,在同一部分中具有不同板数的MCP的表观和电性能的测试结果。从试验结果可以看出,对于1μm以下的小颗粒污染物,应选择频率在40千赫以上的超声波进行清洗。
半导体超声波清洗机—清洗温度
在硅片清洗过程中,清洗液的温度是一个关键因素。适当的清洗温度可以加速油污的去除,获得最佳的清洗效果。当硅片浸入清洗液中时,硅片上的油污膨胀,油污内部以及油污与硅片之间的作用力减弱。温度越高,油污膨胀越大,作用力越弱,表面活性剂分子越容易将油污从硅片表面撬开。同时,温度的变化会导致胶束性质和胶束中溶解物质溶解度的变化。聚氧乙烯表面活性剂的聚氧乙烯链(CH2CH2O)n在水中产生水合作用,并与水分子中的氢形成氢键。
温度升高,氢键减弱,有的甚至断裂,水合作用减弱,胶束容易形成,胶束的聚集数也明显增加,油脂等污染物的增溶量增加,有利于硅片的清洗。当.的时候
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